拡散フィルム

Dopant Film Preforms
(by Filmtronics, ISO certified 9002)

ＰＮ同時拡散用のボロンフィルムとリンフィルム

特徴

深いXj
約100μmまで可能

PN 同時拡散

大量一括処理

高濃度拡散
N-type
〜０.06 Ω／□

P-type
〜０.10 Ω／□

簡便な作業性と安全性

目的に応じた多様な製品群

長い使用期限
一年間

N-typeとP-typeの識別
簡単に出来るよう色分け

直径サイズの広い対応性
0.5”〜8”

Non-dopeのNeutralタイプのフィルムもご用意できます。

片面拡散の際にウェファ−裏面同士の接着を防ぐ、或いは拡散回り込みを防ぐ事が出来ます。

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